化(huà)學(xué)氣相沉積是工業(yè)生產和科(kē)研實踐中(zhōng)的一項(xiàng)重要技術，其基(jī)本原理(lǐ)為氣(qì)相反(fǎn)應(yīng)物在高(gāo)能量環境(jìng)（熱，光，等離子）激發下產(chǎn)生化學(xué)反(fǎn)應(yīng)而(ér)形(xíng)成固體產物
。化(huà)學氣(qì)相(xiāng)沉(chén)積技(jì)術廣(guǎng)泛(fàn)應(yīng)用(yòng)於(yú)粉體(tǐ)的製備(bèi)和表麵改(gǎi)性(xìng)，目標產(chǎn)物為遊離的固(gù)體形(xíng)式得到超細粉(fěn)末(mò)，目(mù)標產(chǎn)物以一定方式沉積在(zài)粉(fěn)體或(huò)基體(tǐ)表麵可(kě)以(yǐ)形(xíng)成功能(néng)化(huà)的薄膜(mó)或塗層
。無論是(shì)粉(fěn)體製備(bèi)還是表(biǎo)麵(miàn)塗(tú)覆，粉體顆(kē)粒(lì)本身良(liáng)好的分散性及(jí)良(liáng)好(hǎo)的(dí)氣(qì)固(gù)接(jiē)觸(chù)是非常重要(yào)的因(yīn)素(sù)
。在(zài)眾多的(dí)粉體分散技(jì)術中(zhōng)，流化技(jì)術(shù)由於分(fēn)散性好，可(kě)以實現顆粒的循環流動，被廣泛用(yòng)於(yú)化(huà)工生(shēng)產過程(chéng)
。而將(jiāng)化(huà)學氣相沉(chén)積和(hé)流化(huà)技術相(xiāng)結合，就(jiù)產生了(liǎo)一種(zhǒng)新型的(dí)材料(liào)製(zhì)備技術(shù)
。

在(zài)流化(huà)床(chuáng)中，顆粒在(zài)高(gāo)速氣(qì)流的作(zuò)用下處於流(liú)態化，而氣體反(fǎn)應物通過載(zǎi)帶的(dí)形式(shì)進(jìn)入流化床，在(zài)高(gāo)溫(wēn)區(qū)發(fā)生(shēng)化學反應，形成(chéng)超細(xì)粉(fěn)末(mò)或者(zhě)沉(chén)積在(zài)顆粒表(biǎo)麵(miàn)
。該(gāi)項(xiàng)技術(shù)起源於(yú)核能(néng)領域，初應用於陶(táo)瓷(cí)球形(xíng)核(hé)燃料核芯的包(bāo)覆，後逐(zhú)步擴(kuò)展到(dào)碳納米管(guǎn)製備，多晶(jīng)矽製備，催(cuī)化(huà)載體及(jí)粉體(tǐ)改性等(děng)領(lǐng)域(yù)
。